フィルタレギュレータ

調質・発生源機器 — QUBE システムユニット — フィルタレギュレータ

フィルタレギュレータ B45, B55, B105

形式番号 ポートサイズ フィルタエレメント
(μm)
ボウル容量
(cm3)
減圧範囲
MPa(kgf/cm²)
オプション
B45-2,3 Rc1/4,3/8 5 22 0.03~0.8
(0.3~8)
ブラケット、
圧力計、
パネルマウント用リング、
マスタードレイン、
春のドレイン
B45-2,3D
B45-2,3L 0.02~0.42
(0.2~4.2)
B45-2,3DL
B55-2,3,4 Rc1/4,3/8,1/2 47 0.02~0.8 (0.2~8) ブラケット、
圧力計、
パネルマウント用リング、
オートドレン、
春のドレイン
B55-2,3,4D
 B55-2,3,4L 0.01~0.42
(0.1~4.2)
B55-2,3,4DL
B105-4,6 Rc1/2,3/4 140 0.02~0.8
(0.2~8)
B105-4,6D

● D:サイトグラスずに金属ボウル


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